服务Service

整体实力

整洁有序的超净实验室、完备先进的工艺线设备、活泼专业的技术团队。

实验室介绍| 设备展示| 团队介绍|

 

博奥生物微加工实验室建立于2005年,作为博奥公司的重要支撑平台之一,主要为公司以芯片实验室为代表的下一代产品的研发提供必要的技术支持和技术储备。同时,也面向国内外的各大学、公司及科研单位,在微流体(Microfluidics)、微机电系统(MEMS)和芯片实验室(Lab-on-a-chip)等相关领域提供全面、高效的微加工技术服务。
 
微加工实验室拥有面积约400平米的超净间,拥有可用于硅基、玻璃基和塑料基芯片研发和生产的全套微加工工艺设备,设备总价值达3000余万元。其中,有薄膜类工艺设备如化学气相沉积(PECVD)、磁控溅射台、电子束蒸发台、反应离子刻蚀机(RIE)等,有光刻类工艺设备如匀胶机、曝光机、显影机、基片清洗机等,有封装类工艺设备如划片机、压焊机、热压键合机等,有测试类设备如台阶仪、探针台、显微镜、扫描电镜等。实验室拥有完备而成熟的微加工工艺,可完成包括基片准备、光刻、薄膜沉积、干法刻蚀、湿法腐蚀、电铸模具、塑料热压、阳极键合、芯片封装及测试等在内的全系列微加工工序。
 
在过去数年中,实验室在微流体芯片和微电极芯片的设计、制作、封装与应用等方面进行了持续的开发。在基于SU8光刻、PDMS浇注、PMMA热压、玻璃微管道刻蚀等工艺的微流体芯片的制作方面,在基于多层布线工艺的微电极芯片的制作方面,以及在微电极芯片和微流体芯片的混合封装方面积累了大量的技术资料和丰富的实践经验。我们不仅为客户提供芯片加工、封装和测试等微加工服务,还可以根据客户需求,在结构设计、数值计算、图形绘制、芯片应用等环节提供专业的技术咨询服务。
 

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                            光刻实验室(100级无尘室)                              薄膜实验室 (1000级无尘室) 

 

 

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                              基片准备室(1000级无尘室)                            气体室(1000级无尘室) 

 

薄膜类设备

磁控溅射
磁控溅射台
图片5
电子束蒸发台
PECVD2
PECVD


光刻类设备

匀胶机
匀胶机
光刻机
曝光机
显影机
显影机


封装类设备

划片机3
划片机
压焊机2
压焊机
热压机2
热压键合机


检测类设备

扫描电镜2
扫描电镜
台阶仪
膜厚仪(台阶仪)
探针台
探针台


其它

RIE
等离子刻蚀机(RIE)
清洗台
清洗台
 

 

 

 

 

 

 

 

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我们的团队:

技术团队目前包括:

高级工艺师1名、

博士1名、

硕士2名、

本科大专学历3名。

 

专业背景涉及生物、物理、化学、

材料、模具制造、微加工等领域。

 
 
他们当中
有从业多年、经验丰富的工艺技师,
有潜心钻研、能力突出的技术能手,
有资历深厚、见识多广的咨询专家,
有善于学习、充满活力的青年技工。